《表3 不同偏压下所制涂层的显微硬度》

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《TiCN涂层的制备及其微观结构和性能》

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（单位：HV)

从表3可知，涂层的显微硬度较低，这是由于镁合金基体硬度较低的缘故。随着负偏压增加，涂层的显微硬度提高。对基体施加偏压时，增强了入射粒子的能量，到达基体表面的原子在较大能量下形核率更高，结晶度更大，生成的硬质Ti CN相和Ti N相更多，硬度也就越大。