《表3 不同Mo含量涂层的显微硬度 (HV0.2) Table 3 Vickers microhardness of coatings with different Mo contents (HV0.

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《反应等离子喷涂TiCN-Mo涂层的组织与性能》

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β作为Weibull分布的形状参数，表示显微硬度数据的分散性。由此可见:β越大，涂层显微硬度分散性越低，性能越稳定；反之，硬度分散性越大，性能稳定性越差。3种涂层表面显微硬度及Weibull分布曲线如表3和图5所示，可见3种涂层显微硬度都存在一定的分散性，且1#涂层显微硬度具有较小分散范围。