《表3 不锈钢基体及厚钽涂层的显微硬度》

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《磁控溅射快速沉积钽涂层的组织及性能》

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纯钽退火态的硬度较不锈钢略低，接近200HV0.05，而溅射厚钽涂层的硬度数倍增加。可能的原因主要有以下几点，一是磁控溅射的厚钽涂层的晶粒细小，细晶强化效果明显；二是可能含有少量的β相，虽然XRD未检测出厚钽涂层中的β相，但只通过提高沉积时基体温度，而不进行热处理，不能获得完全的α相；三是厚钽涂层的应力较高，较高的压应力有利于提高压头附近材料的堆积，使压深增大，接触面积减小，从而提高了测量的硬度值[19]。