《表3 不同偏压下试样涂层的摩擦性能》

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《直流偏压对不锈钢上纯铬涂层结构和性能的影响》

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图5为不同偏压涂层的磨痕形貌。摩擦系数与磨损量见表3。经磨损实验后，涂层表面均具有不同程度的磨损，偏压为-25 V时，涂层磨痕最细，磨痕深度最浅，无明显的大块脱落即为磨料磨损。磨料在磨损过程中起到润滑作用，降低平均摩擦系数，这与-25 V试样涂层综合力学性能最好相符合。偏压为-0 V时，因为离子轰击能量最低，涂层最为疏松，疏松的涂层被磨球带起，并与涂层摩擦，产生较宽的磨痕，较大的摩擦系数及磨损量；偏压为-50、-75、-100 V时，磨痕较宽，且磨痕较深同时有大块脱落，即为黏着磨损，产生较大的摩擦系数及磨损量。这是因为偏压的增加使涂层的致密度上升，应力增加，导致涂层韧性下降，涂层发生塑性变形，发展成黏着磨损[14]。