《表1 不同偏压下DCL薄膜的机械性能》

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《沉积偏压对2024铝合金表面类金刚石薄膜结构及性能的影响》

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摩擦系数不能完全说明DLC薄膜的耐磨性能，有研究者[18]认为薄膜的弹性模量对耐磨性能也有着比较重要的影响。H/E为抵抗弹性应变失效因子[19]，一般认为当H/E值较高时，薄膜具有低的磨损率。但是Neuville[20]等认为，H/E并不能够完全地预测金刚石和ta-C膜的耐磨损性能，H/（Ef）能更好地预测所有涂层材料的耐磨损性能。表1中，沉积偏压为2 600 V时，DLC薄膜H/（Ef）最大，这表明在2 600 V下制备的DLC薄膜有着更好的耐磨损性能。