《表2 正交试验方案：射频磁控溅射不锈钢衬底AlN薄膜的制备与特性研究》
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《射频磁控溅射不锈钢衬底AlN薄膜的制备与特性研究》
确定9个样品进行考察。A、B、C、D四个因素分别代表溅射功率、基底温度、N2流量百分比和溅射时间，并得到正交试验方案如表2。
| 图表编号 | XD00122093600 严禁用于非法目的 |
|---|---|
| 绘制时间 | 2019.12.01 |
| 作者 | 樊志琴、陈飞跃 |
| 绘制单位 | 河南工业大学理学院、河南工业大学理学院 |
| 更多格式 | 高清、无水印（增值服务） |
