《表1 正交试验设计因素水平表》

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《射频磁控溅射不锈钢衬底AlN薄膜的制备与特性研究》

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Al N薄膜用JCP-350M2型高真空多靶磁控溅射镀膜机制备；实验材料:纯度为99.99%铝靶、氮气和氩气；衬底为304镜面不锈钢片。通过前期阶段的试做实验，发现溅射功率、基底温度、N2流量百分比和溅射时间等四个因素对实验结果影响较大，因此选择这四个影响因素作为实验条件，表1为正交试验设计因素水平表。