《表3 不同脉冲电流密度下制备的Ti N薄膜的力学性能》

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《脉冲电流密度对磁控溅射制备TiN薄膜组织与性能的影响》

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图4给出了不同脉冲电流强度下制备的Ti N薄膜划痕的SEM形貌。根据图4可知，脉冲电流密度为0.20 A/cm2制备的Ti N薄膜在划痕内部和边缘处发生明显脱落现象。随着脉冲电流密度的增大，脱落现象明显减少。而当脉冲电流密度增大至0.80 A/cm2时，Ti N薄膜在整个划痕中未出现明显脱落现象，表明此脉冲电流强度下薄膜具有良好的结合强度。