《表1 不同膜厚Si O2光子晶体薄膜的光学性能》

  提示：宽带有限、当前游客访问压缩模式

本系列图表出处文件名：随高清版一同展现

《不同膜厚对SiO_2光子晶体形貌及光学性能的影响》

1. 获取 高清版本忘记账户？点击这里登录

1. 下载图表忘记账户？点击这里登录

在图8中，规定光反射谱参数如下:λ定义为样品光反射峰的峰值，Δλ定义为样品光反射峰的半高宽，h（%）定义为样品光反射峰的峰高值，Δλ/λ定义为样品光反射峰的相对带宽。采用对比光子晶体薄膜的反射峰峰高值（h （%）） 和反射峰的相对带宽值（Δλ/λ），对所沉积得到的SiO2光子晶体薄膜样品光学性能的进行分析比较。研究表明当光子晶体周期性结构中内生缺陷过多时，破坏了周期性结构，其光反射峰高较小，此还还会产生反射峰的宽化效应[13]。反射峰峰高值h越大，相对带宽值（Δλ/λ）越小说明所沉积得到的光子晶体薄膜质量越好[14]，其周期性排列也越规则。对不同膜厚SiO2光子晶体薄膜样品的光学性能参数（λ、Δλ、Δλ/λ、h （%）） 列入表1中。从表1能够得到如下结论:两玻璃基底间只有单张玻璃纸时，样品的反射峰峰高值h最大，而样品相对带宽值（Δλ/λ）最小。当两玻璃基底间玻璃纸层数变多时，样品反射峰的峰高值（h）呈现出变小趋势，样品的相对带宽值（Δλ/λ）增大。此结果说明随着光子晶体薄膜厚度变厚时，样品内部各种形式的缺陷渐渐变多，影响了样品的光学性能，这也符合扫描电镜表面形貌的分析结果。