《表2 Hf O2薄膜Hf O2层膜厚定值过程中的A类不确定度分量》

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《纳米尺度氧化铪薄膜膜厚标准物质的研制》

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（nm）

测量过程引入的不确定度包括拟合、测量过程引入的不确定度。拟合过程包括拟合模型和拟合结果选择，引入的不确定度以标准偏差表示。在重复性测量时，包括多次拟合过程和测量的实验条件，所以把测量重复性所得标准偏差作为测量方法引入的不确定度。表2是Hf O2薄膜Hf O2层膜厚定值过程中的A类不确定度分量。