《表5 名义值厚度5nm的Hf O2层薄膜厚度标准物质量值表达》
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表4、5和6分别给出了膜厚标准物质Hf O2层膜厚标准值及其扩展不确定度，并给出了薄膜样品其它层的膜厚参考值。
| 图表编号 | XD00201112200 严禁用于非法目的 |
|---|---|
| 绘制时间 | 2021.01.18 |
| 作者 | 高慧芳、任玲玲 |
| 绘制单位 | 中国计量科学研究院、中国计量科学研究院 |
| 更多格式 | 高清、无水印（增值服务） |
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