《表1 各点的薄膜厚度值对比及相对偏差》
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为了验证厚度的准确性，在薄膜不同位置处取6个点，分别标记为A，B，C，D，E，F，如图5(b）所示．计算各点仿真薄膜厚度d0与还原后实测薄膜厚度d的差值Δ，如表1所示．
| 图表编号 | XD00211962000 严禁用于非法目的 |
|---|---|
| 绘制时间 | 2021.02.20 |
| 作者 | 官子涵、潘玉寨 |
| 绘制单位 | 哈尔滨工业大学(威海)光电科学系、哈尔滨工业大学(威海)光电科学系 |
| 更多格式 | 高清、无水印（增值服务） |
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