《表1 不同厚度PI薄膜线性热膨胀系数测定值》

《表1 不同厚度PI薄膜线性热膨胀系数测定值》   提示:宽带有限、当前游客访问压缩模式
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《微电子级聚酰亚胺薄膜线膨胀系数测定方法研究》


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采用不同厚度的PI薄膜样品,负荷20 g,氮气流量50 mL/min,升温速率5℃/min,升温至250℃,计算试样的平均线性热膨胀系数,结果如表1、图4所示。