《表1 不同厚度PI/Si薄膜的反演结果》

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《利用单波长椭偏仪对各向异性薄膜光学常数和欧拉角的研究》

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为了考察模拟退火单纯形联合算法反演的可行性及可靠性，对二种光轴平行于表面各向异性薄膜进行数字模拟反演实验．数字模拟中使用的入射光的波长为632.8 nm，入射角为70°，环境介质为空气（ni=1），衬底为硅衬底（nt=3.85-0.02i）．选取各向异性二氧化硅薄膜（SiO2）（no=1.38，ne=1.50） 以及聚酰亚胺薄膜（PI）（no=1.557 3，ne=1.540 1） 作为模拟反演对象，加入普通椭偏仪测量精度0.02°的随机误差模拟实验得到的椭偏参数，反演算法搜索范围分别为1