《表1 不同转速下的聚丙烯酸薄膜厚度》

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《旋涂转速对于聚丙烯酸薄膜性能的影响研究》

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本文利用一台探针接触式台阶仪（ET4000M，小坂研究所，日本）对各种旋涂转速下的聚丙烯酸薄膜的厚度进行测量。为了保证测量结果的准确性并消除偶然误差对于结果的影响，在每个转速下分别制作了5个样片。利用去离子水对每个样片的聚丙烯酸薄膜进行选择性腐蚀，制作出3个不同的测量位置，所有的厚度测量结果如表1所示。