《表2 不同旋涂转速下薄膜的性能参数Tab.2 Property of films at different rotating speeds》

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《旋涂法制备氧化锆介质层及其在薄膜晶体管中的应用》


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前驱体溶液不同旋涂转速下制备的Zr O2薄膜的性能参数如表2所示，从表中数据可以看出随转速的增加，Zr O2薄膜的膜厚、粗糙度降低。转速在4 000 r/min以下时，其改变对膜厚、粗糙度以及漏电流密度有明显影响；转速从4 000 r/min增加到5 000 r/min时，厚度、粗糙度以及漏电流密度分别从77.99 nm、0.457 nm和1.34×10-3A/cm2变为68.84 nm、0.421 nm和3.13×10-5A/cm2；当转速超过5 000 r/min时，其变化对膜厚、粗糙度以及漏电流密度影响不大。根据Meyerhofer[17]提出的旋涂溶剂挥发模型，挥发速率、转速和初始粘度等因素与膜厚度的变化成一定比例关系，如公式（1）、（2）所示:

图表编号XD0017622000    严禁用于非法目的
绘制时间2018.02.01
作者钟云肖、周尚雄、姚日晖、蔡炜、朱镇南、魏靖林、徐海涛、宁洪龙、彭俊彪
绘制单位高分子光电材料与器件研究所发光材料与器件国家重点实验室华南理工大学材料科学与工程学院、高分子光电材料与器件研究所发光材料与器件国家重点实验室华南理工大学材料科学与工程学院、高分子光电材料与器件研究所发光材料与器件国家重点实验室华南理工大学材料科学与工程学院、高分子光电材料与器件研究所发光材料与器件国家重点实验室华南理工大学材料科学与工程学院、高分子光电材料与器件研究所发光材料与器件国家重点实验室华南理工大学材料科学与工程学院、高分子光电材料与器件研究所发光材料与器件国家重点实验室华南理工大学材料科学与工程
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