《表1 不同厚度的氧化锌薄膜热导率计算结果》

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《基于非平衡分子动力学的氧化锌薄膜热导率的模拟》

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其中，α表示体材料的导热系数，b为导热系数的尺度依赖系数，所以导热系数的倒数与薄膜厚度的倒数成正比关系.影响声子平均自由程大小的因素很多[11]，有声子与声子之间的内部碰撞，晶格缺陷和杂质对声子的散射，晶界及晶体边界对声子的散射等.在微尺度传热过程中，由于微纳米结构的表面积和体积比显著上升，边界散射作用增强并成为决定热导率系数大小的最重要因素.所以当薄膜厚度从29.15 nm增大到45.81 nm时，声子的边界散射作用减小，故薄膜的热导率随之增大，表现出了明显的尺寸效应.