《表3 两种薄膜厚度及电学性能测试与计算结果》

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《钼粉粒径对钼钛薄膜性能的影响》

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从表4可以看出，两种薄膜均表现出良好的表面平整度。但2#薄膜的表面粗糙度更低，这是由于2#靶材晶粒大小相对均匀，晶界相对较少，在相同的溅射功率下所轰击出的离子浓度更均匀，沉积在基片表面的薄膜表面就会更平整。