《表2 不同真空干燥温度下石墨烯薄膜的方块电阻及厚度测量》

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《基于石墨烯复合薄膜的平面微电感》

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为了进一步探讨真空干燥更为适宜的温度，本文将石墨烯溶液放置在真空干燥箱中，在三种不同温度下分别恒温干燥，观察石墨烯薄膜成膜情况。如图8～图10所示，随着真空干燥箱温度升高，石墨烯薄膜片径尺寸增大，薄膜分布更加均匀。进一步采用四点探针测试仪测量石墨烯薄膜方块电阻，并用台阶仪/表面轮廓仪测量薄膜厚度，得到测量结果如表2所示，随着温度升高，石墨烯薄膜的电阻率逐渐降低。