《表1 三种干燥方式下石墨烯薄膜的方块电阻及厚度测量》
此外,用四点探针测试仪对石墨烯薄膜的方块电阻进行测量,并用台阶仪/表面轮廓仪测量薄膜厚度,得到测量结果如表1所示(实验时的室温为28℃)。由表1可得,室温自然干燥方式下得到的石墨烯薄膜厚度远大于其他两种干燥方式薄膜厚度,说明室温自然干燥下成膜疏松。部分原因是自然干燥时,薄膜内部空洞缺陷较多。但是,三者薄膜方块电阻大小接近。
图表编号 | XD0028232400 严禁用于非法目的 |
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绘制时间 | 2019.03.15 |
作者 | 周勇 |
绘制单位 | 上海交通大学电子信息与电气工程学院、上海交通大学薄膜与微细技术教育部重点实验室 |
更多格式 | 高清、无水印(增值服务) |