《表1 初始方块电阻不同的硅片掺杂后的方块电阻变化情况》

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《基于激光掺杂的SE+PERC单晶硅太阳电池关键工艺的研究》

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在确定了掺杂时的激光功率和激光频率的情况下，初始方块电阻的选择很重要。本实验选择的激光功率为60 W，激光频率为220 k Hz，对5组不同初始方块电阻的硅片（1#～5#）进行实验验证，其激光掺杂后的方块电阻及掺杂后方块电阻的不均匀度情况如表1所示。