《表2 方块电阻和红外发射率随氧气流量的变化》

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《高透明低发射率ITO薄膜的制备及其光电性能研究》

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表2所示为ITO薄膜样品的方块电阻和红外发射率。结果表明，随氧气流量的增加，薄膜方块电阻先降低，氧气流量增至0.6 mL/min时，制备的ITO薄膜方块电阻最小；随着氧气流量的继续增加，ITO薄膜的方块电阻变大。造成这种现象的主要原因是，随氧气流量的增加，薄膜内部氧空位浓度降低，杂质散射现象得到有效抑制，薄膜电阻减小，红外辐射率变小；随氧气流量的继续增加，薄膜中氧空位急剧减少，导致薄膜中的自由电子减少，方块电阻变大，红外辐射率增大[16-17]。经过研究氧气流量对ITO薄膜光电性能的影响，综合考虑，初步确定氧气流量为0.6 mL/min。