《表3 频率1 MHz时三种线圈电感参数》

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《基于石墨烯复合薄膜的平面微电感》

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使用Agilent E4991ARF阻抗/材料分析仪对三种微电感进行电学性能测试，测试频率为1～40 MHz。先对仪器进行校准补偿，随后对样品进行测试。图12～图14显示三种微电感的电感量、Q值和电阻随频率变化的曲线。从图12～图14可以看出，在频率1 MHz时，铜导线和石墨烯/铜复合导线和石墨烯导线三者的电感参数如表3所示。对电感量进行比较，电感量大小依次为石墨烯/铜线圈、铜线圈、石墨烯线圈，显示石墨烯薄膜与铜复合后，较大地提高了微线圈结构的电感量。部分原因是由于石墨烯薄膜具有大动量弛豫，在高频电路下具有良好的电感特性，且趋肤效应很小，可忽略不计。