《表4 样品光学参数3次测量及反演结果》

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《利用单波长椭偏仪对各向异性薄膜光学常数和欧拉角的研究》

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采用各向异性薄膜PI/Si样品对本方法进行重复性和准确性的实验测试．PI薄膜的重复测量及反演结果如表3所示，no、ne、d及φE的标准差分别为0.000 1、0.000 1、0.1 nm及0.03°，有较高的测量重复性精度及稳定性．为考察本方法的准确性，采用自洽比较测量的方法．表4为不同位置转动样品90°的3次测量及反演结果，可见薄膜参数no、ne及d的最大偏差分别为0.001 2、0.004 4及4.57 nm．自洽性较好，准确度较高．