《表2 具有不同AlN缓冲层厚度的SiC薄膜的硬度与附着力变化》

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《AlN缓冲层厚度对SiC薄膜性能的影响》

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图4(a）为具有不同AlN缓冲层厚度的SiC薄膜的硬度变化图（硬度和附着力均经过多次测量，取平均值）。可以看出，AlN缓冲层厚度在0～60nm时，随着缓冲层厚度的不断增大，SiC薄膜硬度也随之增大，这是因为AlN缓冲层的存在减少了Si基底与SiC交界处的应力，使得薄膜的硬度增大。当AlN缓冲层厚度超过60nm时，随着缓冲层厚度的增大，薄膜硬度不断减小。如图4(b）所示，薄膜的附着力也呈现相类似的变化趋势：当AlN缓冲层厚度在0～60nm时，SiC薄膜附着力随着缓冲层厚度增加不断增大，当AlN缓冲层厚度超过90nm时，随着缓冲层厚度的增大，薄膜附着力不断减小。不同薄膜的硬度与附着力变化总结于表2。