《表1 不同样品的金刚石涂层制备工艺参数》

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《CVD纳米金刚石@碳化硅复合粉末导热填料制备工艺研究》

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本次实验共制作10个样品，分别通过控制工艺中的CH4/H2比、热丝功率、热丝丝距、沉积时间等四项参数，来探讨各个参数对沉积工艺的影响以及探究最优工艺的实验参数，具体参数如表1所示。