《表2 制备ZrO2涂层的工艺参数》
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YSZ陶瓷层的制备方法选择EB-PVD，为了保证涂层厚度不对热震实验造成影响，控制涂层制备时间保证各束流下陶瓷涂层的厚度均为50μm。具体的工艺参数如表2。
| 图表编号 | XD00180450300 严禁用于非法目的 |
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| 绘制时间 | 2020.05.25 |
| 作者 | 李国浩、巴德纯、王栋、陈红斌、张洪琦、杜广煜 |
| 绘制单位 | 东北大学机械工程与自动化学院真空与流体工程研究所、东北大学机械工程与自动化学院真空与流体工程研究所、东北大学机械工程与自动化学院真空与流体工程研究所、东北大学机械工程与自动化学院真空与流体工程研究所、东北大学机械工程与自动化学院真空与流体工程研究所、东北大学机械工程与自动化学院真空与流体工程研究所 |
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