《表1 不同类型喷枪制备SPS涂层的工艺参数及涂层微结构特点》

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《悬浮液等离子喷涂热障涂层研究进展》


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表1总结了不同研究人员采用不同类型等离子喷枪开展SPS研究的主要工艺参数和涂层结构特征。使用常规的9MB喷枪获得垂直裂纹结构涂层的难度较大,且基本无制备类柱状晶结构涂层的报道,喷涂距离极短(30~50 mm)也不利于SPS工艺控制。采用F4喷枪,由于等离子弧长度增加,相对改善了SPS的工艺性,但仍然在极短的喷涂距离下(30~40 mm)才能获得垂直裂纹结构涂层。采用更高功率的100HE喷枪,可以获得结构特征清晰的垂直裂纹结构涂层和类柱状晶结构涂层,柱状晶尺寸达到75~100μm。对于单电极等离子喷枪,等离子射流长度和功率的提高,均能提高SPS工艺的可控性,并制备出垂直裂纹或类柱状晶结构涂层。三阴极/电极喷涂系统会明显降低弧电压的波动和等离子体扰动,相对提高SPS工艺的可控性,可实现不同结构涂层的制备,也可获得柱状晶尺寸达到20~50μm的类柱状晶结构涂层,但仅仅是喷枪及功率的改善对涂层沉积效率带来的影响并不显著。