《表1 钨的物理性能：化学气相沉积钨涂层的研究现状与进展》

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《化学气相沉积钨涂层的研究现状与进展》

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金属钨具有熔点高、硬度大、热膨胀系数低等特点[1]，其主要物理特性如表1所示。钨的应用可追溯到20世纪初，美国学者Coolidge采用粉末冶金技术首次制备出可以取代白炽灯碳丝的高延展性钨丝[2]，从此开启了钨金属制品和钨涂层工业化应用的篇章。