《表2 物理气相沉积法在表面微织构内填充固体润滑剂的摩擦学性能》

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《表面微织构复合固体润滑材料的摩擦学性能研究进展》

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气相沉积法是利用气相中发生的物理、化学反应，在工件表面形成功能性或装饰性的金属、非金属或化合物涂层。气相沉积法按照成膜机理，可分为化学气相沉积、物理气相沉积和等离子体气相沉积。表2总结了使用物理气相沉积法在表面微织构内填充固体润滑材料的作用效果。