《表1 放电沉积参数：放电沉积凸貌微织构表面动压润滑性能仿真研究》

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《放电沉积凸貌微织构表面动压润滑性能仿真研究》

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图2a所示为通过放电沉积方法，获得直径408.17～419.29μm、高度11.95～12.43μm的四点凸貌微织构阵列的形貌。工具电极材料为黄铜，工件材料为45钢。加工参数为：高压1800 V、0.5 mA，低压20 V、250 mA。采用OLYMPUS DSX510光学数码显微镜对微织构三维形貌进行了测量。该显微镜的测量精度为0.01μm，是一种非接触式三维形貌测量仪器。图2b为其测量界面，图2e为四个微织构的直径处测量数据放大图。可以看出，通过合理选择高低压复合放电沉积的工艺条件，能够稳定获得尺寸、形貌一致性较好的表面凸貌微织构阵列。该方法工艺简单，能量、织构排布方式易于控制。放电沉积凸貌微织构的尺寸取决于放电脉冲能量和工具电极直径。图2c、2d所示为微织构局部放大图，可以看出，织构沉积点表面形成了直径在5μm左右且分布较均匀的微小空隙，属于典型的宏微复合结构，在表面织构领域将表现出独特的特点，这将在后续研究中深入开展研究。高低压复合放电沉积的加工参数如表1所示。