《表1 钨涂层成分化学分析结果》

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《无氧铜表面钨涂层制备及结合性能研究》


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在金相显微镜下测量钨涂层厚度(见图3),测量时随机选取5个位置测量涂层厚度。测量结果分别为:194.370μm、197.145μm、185.775μm、196.188μm、184.786μm,平均值为191.653μm。最大值与平均值的偏差率2.86%,最小值与平均值的偏差率为3.58%,说明钨涂层厚度偏差较小,可满足用户对真空电子器件使用要求。