《表1 涂层成分的EDS分析结果》

  提示：宽带有限、当前游客访问压缩模式

本系列图表出处文件名：随高清版一同展现

《TiAlSiN涂层对γ-TiAl基合金抗高温氧化性能的影响》

1. 获取 高清版本忘记账户？点击这里登录

1. 下载图表忘记账户？点击这里登录

（atomic fraction/%）

图1为代表性的沉积态TiAlSiN涂层的表面和截面形貌。可见，涂层虽然表面熔滴较多，但很致密，涂层厚度约12μm；在TiAlSiN涂层和TiAl基材之间明显可见一较薄TiN层，厚度约1μm。XRD分析表明（图2），TiAlSiN涂层为立方TiN结构，衍射峰相对于TiN向高角度偏移，说明Al、Si可能替代Ti固溶于Ti N晶格中，导致晶格常数变小。表1为涂层成分的EDS分析结果，可见沉积态涂层成分和靶材的名义成分相差不大。