《表2 图3中共渗后涂层截的EDS成分分析》

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《玻璃熔窑用钼制品的抗氧化涂层研究》

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图3为共渗后所形成涂层的截面BSE形貌及EDS分析结果（见表2），Si O2相、Mo Si2相、Mo5Si3（T1相）和Mo B相如图中所示。Si O2最外层厚度小于10μm，组织致密，厚度随着氧化反应加剧而增加。次外层厚约130μm，EDS成分分析主要是灰色相Mo Si2；其中夹杂的灰白色相为Mo5Si3（T1相）。次里层厚约40μm，为Mo5Si3（T1相）。最里层厚度约20μm，为Mo B。Mo5Si3（T1相）与Mo B层衬度接近。由于B为轻元素，EDS不能准确测定它的含量，但可以根据Mo-Si-B三元体系相图确定B元素的存在，同时通过EDS分析Si元素的分布可确定两者的分界面。涂层与基体之间通过高温扩散形成冶金结合，由于涂层与基体之间的热膨胀系数的差异，冷却过程中涂层内部产生较大的热应力，当热应力超过涂层自身强度时，涂层会出现贯穿裂纹（见图1），但终止于基体表面。