《表1 热震0—50次后TiAlSiN涂层EDS成分》

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《热震对TiAlSiN涂层结构与性能的影响》

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图5是TiAlSiN涂层表面两个特征区域（颗粒处A、平坦处B)EDS元素分析（见表1）示意图。平坦处B表面元素含量均匀变化，颗粒处A（非铝点）与空气接触面积大，氧化更加充分，具体数据见表1。