《表1 不同沉积温度下FeCrAl涂层成分》

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《沉积温度对磁控溅射制备Fe Cr Al涂层微观结构及性能的影响》

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由不同沉积温度下Fe Cr Al涂层的SEM表面形貌图可知，所有涂层表面致密、连续，在较大范围内未观察到明显的裂纹和孔洞等缺陷。不同沉积温度下Fe Cr Al涂层元素组成如表1所示。从表中可见，随着沉积温度的升高，Fe元素和Cr元素含量无明显变化，但是Al元素含量呈现出减少趋势，这可能是由于Al元素熔点偏低（660℃），沉积温度导致了涂层中Al元素的二次蒸发。除了300℃，其他温度下沉积的Fe Cr Al涂层中Al的质量分数均高于3.2%的最低限度[14]。图1是不同沉积温度下Fe Cr Al涂层表面AFM三维形貌图，从图1可见，随着沉积温度的升高，涂层表面平均粗糙度（Ra）先由4.9 nm逐渐上升到11.2 nm，然后降低到7.9 nm。