《表4 Ti AlCrN/NiCrAlY涂层的表面EDS结果》

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《耐热钢表面TiAlCrN/NiCrAlY涂层的制备和热震性能》

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图1为TiAlCrN/NiCrAlY涂层的表面SEM形貌。可看出：基体表面覆盖致密涂层，涂层表面有大颗粒，大颗粒的尺寸最大20～30μm。大颗粒是阴极靶材表面产生的中性离子团簇飞落在沉积生长的涂层薄膜而形成的[20]。对涂层表面进行EDS分析，结果见表4，可知涂层为Ti0.51Al0.17Cr0.16N0.15。