《表3 大气条件下、500℃退火1000 h前后AlCrON基光谱选择性吸收涂层表面颗粒的EDS结果》

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《大气条件下AlCrON基光谱选择性吸收涂层的热稳定性》

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图4为大气条件下、500℃退火1000 h前后Al‐Cr ON基光谱选择性吸收涂层的表面和截面SEM像。可见，退火前样品表面存在一些尺寸较大的颗粒（图4a中1和2所示），其中某些颗粒的尺寸甚至可以达到1.5μm，这些大颗粒主要源于阴极靶材蒸发过程产生的液滴。红外反射Cr层主要由柱状晶组成（图4b），这种柱状晶结构的反射率比纯单晶体低。在基体和红外反射Cr层界面处存在一个紊乱区，其形成可能与多弧离子镀条件下Cr柱状晶的晶体择优取向生长有关，同时也可能受不锈钢基底表面粗糙度、预热温度和旋转速率的影响。退火1000 h后，涂层表面大尺寸颗粒的数量明显减少（图4c中箭头3～5所示），这有助于降低涂层的热发射率[24]，这些颗粒的EDS分析如表3所示，颗粒中的N和O含量有所增加。断面形貌显示（图4d），退火后涂层的结构保持完整不变，Al Cr O减反射层和Al Cr N、Al Cr ON保持多层结构稳定无破坏，但是从SEM截面形貌无法分辨出Al Cr N层和Al Cr ON层。红外反射Cr层中出现了明显的晶界，但是由于其厚度较大，退火后仍保持着完整的结构，这可能是由于Cr层与不锈钢、Al Cr N层之间热膨胀系数不匹配所造成的。