《表2 NiCrAlY粘结层制备工艺参数》

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《耐热钢表面TiAlCrN/NiCrAlY涂层的制备和热震性能》

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对试样依次采用320#、600#、800#、1200#、1500#水砂纸进行打磨，最后用抛光机和粒径为0.5μm的金刚石抛光膏进行抛光处理至镜面状。之后依次置入纯度为99.9%的丙酮和乙醇的溶液中超声波清洗20 min，之后放入烘干机中烘干，待基体完全干燥后放入炉内进行涂层沉积。在真空电弧离子镀膜机上制备TiAlCrN/NiCrAlY涂层。所用靶材从北京中金研科技有限公司定制。采用合金靶材制备NiCrAlY粘结层，NiCrAlY合金靶材成分为Ni-20Cr-8Al-1Y(wt%）。NiCrAlY的热膨胀系数为（12～15）×10-6/℃[18]，与试验用X12CrMoWVNbN10-1-1耐热钢基体的热膨胀系数（10～13）×10-6/℃[19]接近，以NiCrAlY作为粘结层，有利于减小TiAlCrN涂层沉积过程中产生的热应力，提高膜基结合力。Ni CrAlY粘结层的沉积参数如表2所示。