《表1 涂层沉积工艺参数》

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《锆管表面Cr/TiAlSiN涂层的高温抗氧化性能》

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靶材为市售纯铬靶（99.95%）、Ti Al Si靶（Ti∶Al∶Si=30∶60∶10，原子分数比），规格尺寸为100 mm×18 mm。涂层沉积过程中使用氩气、氮气，2种气体纯度99.99%。涂层制备工艺参数见表1。