《表1 NMC涂层沉积参数》

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《真空冷喷涂LiNi_(0.33)Co_(0.33)Mn_(0.33)O_2涂层颗粒沉积行为研究》


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图1所示为西安交通大学热喷涂实验室自主研发的真空冷喷涂系统。它主要由气源系统、送粉系统、沉积舱室、喷嘴、移动平台、真空系统等几个部分组成。喷涂时,亚微米级的粉末在送粉器内与气源提供的载气混合形成气溶胶,经过真空舱室内喷嘴的加速作用高速撞击在基体表面形成涂层。试验所用使用基体材料为氧化铝,使用的工艺参数如表1所示。