《表2 不同甲烷浓度下的金刚石膜沉积参数》

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《大尺寸自支撑金刚石膜制备工艺及其红外透过性能研究》

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在上述的温度研究基础上，以850℃作为沉积温度，研究了甲烷浓度对金刚石膜沉积的影响，具体沉积参数如表2所示。图3和图4分别为不同甲烷浓度下制备金刚石膜的表面形貌图和对应的拉曼光谱图，a、b、c和d分别代表1.0%、3.0%、5.0%和7.0%甲烷浓度下制备的金刚石膜。从中可以看到随着甲烷浓度的增加金刚石膜的晶粒尺寸在逐渐降低，同时石墨相含量在逐渐升高。图3(a）和图3(b）中金刚石膜晶粒取向杂乱且大小不一，无法满足大尺寸、长时间的生长要求。在图3(d）中可以看到晶界处有明显的二次形核现象发生，说明此时环境中的含碳基团浓度过高，影响金刚石膜的沉积质量。因此，选用5.0%的甲烷浓度作为最终沉积参数。