《表2 沉积得到的纳米金刚石膜的平均晶粒尺寸及择优取向》

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《氮气对纳米金刚石膜的生长结构及晶界处H含量的影响》

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其中，K为谢乐常数、β2θ为样品对应的衍射峰半高宽、θ为衍射角、λ为X射线波长。根据样品XRD图谱中（111）特征峰的半高宽（Fullwidth athalfmaximum，FWHM）具体计算了纳米金刚石膜的平均晶粒尺寸，具体计算过程中扣除了应变宽化，同时通过具体比较（220）与（111）特征峰的强度，以确认纳米金刚石膜生长的择优取向，结果如表2所示。