《表1 WC-Co铣刀沉积金刚石的基本形核参数》

《表1 WC-Co铣刀沉积金刚石的基本形核参数》   提示:宽带有限、当前游客访问压缩模式
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《微细硬质合金刀具沉积金刚石薄膜的形核研究》


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试验采用的HFCVD沉积设备如图1所示。用CH4和H2作为反应气体。其余相关参数如表1所列。