《表1 基于Ir(100)衬底的不同膜系结构上金刚石的外延质量》

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《铱衬底上异质外延单晶金刚石:过程与机理》

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但硅与铱元素之间的化学反应使得Ir薄膜不能直接沉积于Si衬底，因此需要在Si衬底和Ir层之间沉积缓冲层。根据最底层衬底及缓冲层材料的不同，可以形成不同的多层膜结构，仅列出在Ir（100）晶面外延金刚石的生长质量，如表1所示。