《表1 双银产品膜系结构》

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《基于遗传算法的Low-E膜系中透明介质膜层均匀性在线分析》

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在离线Low-E膜系中常用到SiNx、SnOx、ZnOx、ZnSnOx、TiOx等透明介质膜层，这类膜层的厚度对实现产品的透光率、反射率和颜色等光学性能起到至关重要的作用[3]，在Low-E镀膜行业采用L*、a*、b*方式表示颜色空间，其中L*表示明度（Luminosity），a*为横坐标，由正到负的变化表示颜色由红色变化至绿色；b*为纵坐标，由正到负的变化表示颜色由黄色变化至蓝色[4]。表1为开发的双银产品膜系结构，该膜系共10层，由于Low-E镀膜玻璃在使用时以玻面作为观察面，因此玻面反射（Rg）颜色是光学性能考察的重要指标[3]。图1为第9层ZnSnOx薄膜厚度变化对玻面反射颜色的影响，需要在溅射阴极调试时、产品膜系开发前首先解决单层介质膜层在镀膜宽度方向的均匀性问题，因此测试分析介质膜层厚度均匀性具有重要意义。