《表2 氮化镓外延用硅衬底规格要求》

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《氮化镓外延用硅衬底问题研究》

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根据上述测试分析，我们制定了氮化镓用硅衬底加工控制标准见表2。根据控制参数要求，我们调整了加工工艺条件，制备出的15.24 cm P型重掺硅单面抛光片外延后达到了与国外衬底片同等的外延质量。