《表2 修正测试数据：高压大功率FRD用硅外延片厚度测量方法》

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《高压大功率FRD用硅外延片厚度测量方法》

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常规计算取值以负向最强峰位置换算，当最强peak迁移时会造成计算取值误差，以变异peak取值与正常peak取值有明显台阶。在此需重新确认变异光谱取值点，重新计算实际厚度值。同时实验发现该类外延片厚度光谱形成正向peak唯一无干扰，则也可变更算法，以正向peak坐标定位center burst信号取值点，如图12所示，重新计算外延厚度d值。修正测试数据如表2所示。