《表1 沿外延片不同晶向的Surfscan测试结果》
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先使激光沿着外延片的方向扫描，得到该方向上的测试数据；然后将外延片水平旋转90°，再次对样品进行扫描测试，将前后两次测试结果进行对比，结果如表1所示。
| 图表编号 | XD00183307500 严禁用于非法目的 |
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| 绘制时间 | 2020.08.15 |
| 作者 | 杨建业、夏英杰、张曦、潘国平、王建峰 |
| 绘制单位 | 中国电子科技集团公司第十三研究所、中国电子科技集团公司第十三研究所、中国电子科技集团公司第十三研究所、中国电子科技集团公司第十三研究所、中国电子科技集团公司第十三研究所 |
| 更多格式 | 高清、无水印（增值服务） |
