《表1 各外延炉异常片统计》
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由于出现此异常片的数量较小，无法统计出现规律，我们将留存的测试片背面针对相同位置进行整盒检验，各外延炉均取相同数量的测试片进行检验，出现黑斑的数量如表1所示。
| 图表编号 | XD0094922100 严禁用于非法目的 |
|---|---|
| 绘制时间 | 2019.09.25 |
| 作者 | 彭永纯、边娜 |
| 绘制单位 | 中国电子科技集团公司第四十六研究所、中国电子科技集团公司第四十六研究所 |
| 更多格式 | 高清、无水印（增值服务） |
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